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科技日報(bào)記者 張曄

2月18日，中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站（Nano-X）二期項(xiàng)目通過總體驗(yàn)收，這為未來納米材料研究及納米器件制造提供了全新路徑與可能。

來自中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、中科院化學(xué)研究所、中科院蘇州醫(yī)工所、中國電子科技集團(tuán)公司電子科學(xué)研究院、蘇州大學(xué)5所高校、科研院所組成的7人專家組認(rèn)為，經(jīng)過兩期建設(shè)，實(shí)驗(yàn)站已建成世界上規(guī)模最大、功能最齊全的真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)裝置，項(xiàng)目圓滿完成了項(xiàng)目合同書規(guī)定的各項(xiàng)研發(fā)任務(wù)，達(dá)到合同規(guī)定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)，整體水平達(dá)到國際先進(jìn)。

Nano-X是集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領(lǐng)域重大綜合科學(xué)裝置，面向國家戰(zhàn)略需求和科學(xué)前沿重大問題，開創(chuàng)了一條變革性的技術(shù)路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機(jī)互聯(lián)在一起，突破常規(guī)超潔凈環(huán)境下，獨(dú)立分散設(shè)備難以實(shí)現(xiàn)的材料本征特性、原子級精準(zhǔn)調(diào)控、表/界面調(diào)控和異質(zhì)集成、器件原位制造等局限，為國家戰(zhàn)略材料和前沿材料領(lǐng)域研究提供重要建制化、體系化支撐。

目前， 已有近40臺各種大型設(shè)備通過203米長的超高真空管道互聯(lián)，建成了材料制備模塊、微觀機(jī)理準(zhǔn)原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊、氣氛可控模塊和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺，形成了全真空環(huán)境下的納米材料和器件研究開發(fā)的綜合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。

自2019年試運(yùn)行起，實(shí)驗(yàn)站累計(jì)開展合作課題651個(gè)，服務(wù)用戶數(shù)量220多家；服務(wù)機(jī)時(shí)80000多小時(shí)。在能源材料、低維材料、高溫超導(dǎo)材料等領(lǐng)域形成了核心研發(fā)能力，產(chǎn)生了一批重要成果，初步建立了具有國際影響力的科技創(chuàng)新能力。